集微网消息,据外媒evertiq报道,Axcelis Technologies宣布发货多批Purion Dragon高电流离子注入机(high current implanter),其中包括后续订单(follow-on orders),以及对先进存储设备制造新客户的渗透。

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Purion Dragon具有高电流离子注入机架构,具有正交光束光学器件,旨在解决高级存储器和逻辑应用的关键注入工序。这些设备于2022年第一季度和第二季度发货。除了这些客户位于亚洲之外,该公司没有提供有关这些客户的任何详细信息。(校对/思坦)

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